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報告書

その場コーティング時の粒子のまわり込みに関する実験的検討

阿部 哲也; 小原 建治郎; 横倉 賢治; 長谷川 浩一; 岡野 文範

JAERI-M 83-087, 16 Pages, 1983/06

JAERI-M-83-087.pdf:0.6MB

その場コーティング時の粒子のまわり込み機構を検討するため、JT-60ライナーおよびRFランチャー模型を使って、粒子のまわり込み実験を行なった。その結果、アルゴン圧8$$times$$10$$^{-}$$$$^{2}$$Paの条件下で同軸マグネトロンスパッタ方式で蒸発させたコーティング粒子は大部分、直進していることがわかった。長管を使用した場合の長手方向距離とまわり込み量との関係を実験式で表わせることを示した。

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